Une suggestion,

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"Jusqu'il y a quelques années, les divers recuits nécessaires pour la fabrication des circuits microélectroniques à base de silicium (ou d'autres semiconducteurs) étaient effectués dans des fours de recuits classiques. Ces fours, qu'ils soient horizontaux ou verticaux, ont tous en commun plusieurs caractéristiques (voir figure 53). Les plaquettes sont disposées en grand nombre (jusqu'à plusieurs centaines) sur des nacelles"
Benjamin Morillon. Etude de la thermomigration de l’aluminium dans le silicium pour la réalisationindustrielle de murs d’isolation dans les composants de puissance bidirectionnels. Micro et nanotech-nologies/Microélectronique. INSA de Toulouse, 2002. Français. tel-00010945

"Les plaquettes propres sont séchées, chargées dans un porte-plaquettes en quartz appelé nacelle"
http://www.ilocis.org/fr/documents/ilo083.htm

Exemple:
https://www.mysciencework.com/patent/show/nacelle-pour-plaqu...