镀膜过程工件的温差控制不锈钢基板和靶材的温度控制的温度差小于50摄氏度，...

Das ist wirklich eine Herausforderung. Der Ausgangstext scheint von einem stilistisch unterbelichteten Verfasser konzipiert worden zu sein.

Ich würde den Satz auf die wesentliche Aussage reduzieren:

Im Beschichtungsprozess wird die Differenz zwischen der Temperatur der Grundplatte aus Edelstahl und der am Zielmaterial (Werkstoff?) gemessenen Temperatur auf unter 50 Grad geregelt